전처리를 거친 원수를 이온교환수지 및 역삼투막을 이용하여 처리, 1차적으로 이온 및 각종 유기물, 무기물을 제거하여 순수를 제조하는 장치
1차 처리된 순수에 혼상식 이온교환수지 또는 전기식 순수장치를 이용하여 이온, TOC, 미립자 등을 제거하여 초순수를 제조하는 장치